Metrologie pro výrobu tenkých vrstev
Metrology for the manufacturing of thin films (IND07 - Thin Films)
Na projektu spolupracují následující metrologické instituty: NPL, BAM (přidružená laboratoř), LNE, PTB, ČMI, VSL a dále vědci z finské Aalto university a německého Fraunhoferova institutu pro integrované systémy a technologie (IISB).
V rámci projektu se řeší otázky charakterizace tenkých vrstev. Jednotlivé úkoly jsou následující:
- návaznost, vzájemné srovnání a validace metod při určování materiálových vlastností relevantních pro tenkovrstevnaté systémy,
- vývoj a vyhodnocení metod měření pro složité vrstevnaté systémy,
- metrologie aplikovatelná při kontrole kvality ve výrobním procesu.
Oddělení nanometrologie ČMI, jehož vedoucím je Mgr. Petr Klapetek, PhD., pklapetek@cmi.cz se bude v rámci projektu zabývat měřením odrazivosti na velké ploše vzorku. Jedná se metodu, známou jako digitální reflektometrie, kdy lze ze série snímků vzorku osvětleného světlem o různých vlnových délkách sestavit sadu reflektometrických spekter, ze které se pak určí optické vlastnosti vzorku jako např. index lomu, index absorpce či tloušťky tenké vrstvy na velké ploše vzorku (cca 1 cm2).