Kód projektu: 20IND12
Vysoutěžení projektu: 2020
Implementace projektu: 2021 – 2024
Vedoucí řešitel projektu: François Piquemal, LNE, Francie
Účastníci projektu:
- Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, BAM, Německo
- Danish Fundamental Metrology, DFM, Dánsko
- Laboratoire national de métrologie et d'essais, LNE, Francie
- Federal Institute of Metrology METAS, METAS, Švýcarsko
- Physikalisch-Technische Bundesanstalt, PTB, Německo
- Ulusal Metroloji Enstitüsü, UME, Turecko
- Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Francie
- Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, Francie
- ISC International Standards Consulting GmbH & Co. KG, Německo
- Universität Linz, Rakousko
- Université de Lille, Francie
- University of Glasgow, Velká Británie
Role ČMI: financovaný JRP-partner
Hlavní řešitel ČMI: Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Web: https://projects.lne.eu/jrp-elena/
Manažerské shrnutí projektu: Spotřební elektronika, inovativní kvantové technologie a aplikace internetu věcí (IoT) jsou závislé na polovodičích, u nichž je spolehlivá charakterizace elektrických vlastností v nanorozměrech zásadní pro evropské inovace a konkurenceschopnost. Měření těchto vlastností umožňuje vyhodnocovat kritické parametry (např. dielektrickou konstantu), které se používají k definování výkonu elektronických materiálů a součástek. V současné době umožňují charakterizaci elektrických vlastností v nanorozměrech vodivé mikroskopy atomárních sil (C-AFM) a skenovací mikrovlnné mikroskopy (SMM), které jsou však nákladné, komplikované a v mnoha případech, kdy se používají, nespolehlivé, protože měření nejsou sledovatelná. Cílem tohoto projektu je poprvé zajistit návaznost těchto měření s uvedenou nejistotou a cenovou dostupnost prostřednictvím vývoje a testování nákladově efektivních přístrojů a prvních referenčních standardů "mimo laboratoř" od DC (mHz) po GHz. Základem tohoto úsilí budou robustní kalibrační metody a příručky správné praxe využívající zjednodušené rozpočty nejistot.