Kód projektu: 20IND06
Vysoutěžení projektu: 2020
Implementace projektu: 2021 – 2024
Vedoucí řešitel projektu: Vito C. Fernicola, INRIM, Itálie
Účastníci projektu:
- Centro Español de Metrología, CEM, Španělsko
- Istituto Nazionale di Ricerca Metrologica, INRIM, Itálie
- Instituto Nacional de Técnica Aeroespacial, INTA, Španělsko
- Centre Technique des Industries Aérauliques et Thermiques, LNE-CETIAT, Francie
- Laboratoire commun de métrologie, LNE-LCM/CNAM, Francie
- MBW Calibration AG, MBW, Švýcarsko
- VTT Technical Research Centre of Finland Ltd, Centre for Metrology MIKES, MIKES, Finsko
- Metrology Institute of the Republic of Slovenia/University of Ljubljana-Faculty of Electrical Engineering/Laboratory of Metrology and Quality, MIRS/UL-FE/LMK, Slovinsko
- Physikalisch-Technische Bundesanstalt, PTB, Německo
- Ulusal Metroloji Enstitüsü, UME, Turecko
- VSL National Metrology Institute, VSL, Nizozemsko
- Danmarks Tekniske Universitet, Dánsko
- Nippon Gases Industrial S.r.l., Itálie
- Qrometric Limited, Velká Británie
- Universidad De Valladolid, Španělsko
- Università degli studi della Campania Luigi Vanvitelli, Itálie
- Università degli Studi di Cassino e del Lazio Meridionale, Itálie
- Vaisala Oyj, Finsko
Role ČMI: financovaný JRP-partner
Hlavní řešitel ČMI: Dr. Ing. Radek Strnad, PhD.
Web: https://www.prometh2o.eu/
Manažerské shrnutí projektu: Stopová voda je největší kontaminant matrice v procesních plynech ultravysoké čistoty (např. Ar, N2 a H2) a její přítomnost ovlivňuje výtěžnost procesů v aplikacích UHP plynů. Přestože výroba UHP plynů slouží mnoha klíčovým technologickým oblastem, jako je například výroba vysoce hodnotných polovodičů, měření stopové vody stále postrádají metrologickou sledovatelnost v příslušných rozsazích a matricích plynů.
Cílem projektu je zaplnit mezeru ve znalostech týkajících se metrologické návaznosti vývojem návazných a zdokonalených metod měření stopové vody, které se budou používat při výrobě a používání čistých procesních plynů s náročnými frakcemi množství mezi 5 ppm a 5 ppb, a demonstrovat příslušné metrologické postupy v průmyslovém dodavatelském řetězci.